Satış Müdürü:Andrea
E-posta: Andrea@tmaxlaboratory.com
Wechat: 18250801164
PECVD için RF Güç Kaynağı
bu
PECVD sistemi bir tüp fırın, bir kuvars vakum odası, bir vakum
sistem, bir gaz besleme sistemi ve bir radyo frekansı güç kaynağı sistemi. Daha çok | için kullanılır: metal ince filmlerin, seramik ince filmlerin, kompozit ince filmlerin büyütülmesi, |
grafen vb. İşlev eklemek kolaydır ve aşağıdaki gibi işlevleri genişletebilir. | plazma temizleme ve dağlama. PECVD sistemi, yüksek film avantajlarına sahiptir. |
biriktirme oranı, iyi tekdüzelik, yüksek tutarlılık ve kararlılık. | RF güç kaynağının ana teknik parametreleri: |
Güç çıkış aralığı | 0-500W |
Maksimum yansıyan | güç |
200W | çalışma frekansı |
RF:13.56MHZ±0.005% | Güç kararlılığı |
+/-0.1% | harmonik bileşen |
≤-50dbc | Rf bölge genişliği |
0-600mmayarlanabilir | eşleştirme yolu |
otomatik | soğutma modu |
soğuk noktalar
Gürültü
<50dB
Subscribe to our weekly newsletter and receive exclusive offers on products you love!
X
Gold Supplier
