sistem, bir gaz besleme sistemi ve bir radyo frekansı güç kaynağı sistemi. Daha çok

için kullanılır: metal ince filmlerin, seramik ince filmlerin, kompozit ince filmlerin büyütülmesi,

grafen vb. İşlev eklemek kolaydır ve aşağıdaki gibi işlevleri genişletebilir.

plazma temizleme ve dağlama. PECVD sistemi, yüksek film avantajlarına sahiptir.

biriktirme oranı, iyi tekdüzelik, yüksek tutarlılık ve kararlılık.

detaylı teknik

parametreler

modeli

TL1600-I

Güç

5KW

Tüp boyutu（OD）(mm)

Yüksek saflıkta korundum tüp: 60mm (tüp çapı)

Her iki tarafa iki fırın tapası yerleştirilmiştir. bu

fırın tapası, fırın tüpünün ortasındaki ısı radyasyonunu engelleyebilir

ve ısıtmadan önce fırın içinde doğru konuma yerleştirilmelidir.

Boyut

1120X490X855

besleme gerilimi

220V

evre

Tek aşama

Isıtma elemanı

1800 model silikon molibden bar

Sıcaklık kontrol tipi

Kullanmak

Yudian programı sıcaklık kontrol cihazı (standart)

1.

30 segmentli program sıcaklık kontrolü akıllı PID ayarı.

2.

Aşırı sıcaklık koruması ile elektrikli fırın ısıtma devresi

Sıcaklık aşırı olduğunda veya sıcaklık düştüğünde otomatik olarak kesilecektir.

çift bozuldu. AÇIK, paneldeki AÇIK ışığı kapalı, KAPALI ışığı yanıyor,

ve elektrikli fırın sınırlı bir şekilde korunmaktadır).

3.

485 iletişim arayüzü ile (isteğe bağlı yazılım ile standart)

4.

Bir elektrik kesintisi koruma fonksiyonuna sahiptir, yani fırın çalışırken

Güç kapatıldıktan sonra açılır, program başlangıç konumundan başlamaz.

ilk sıcaklık, ancak güç olduğunda fırın sıcaklığından başlar

kapalı.

5.

metre sıcaklık kendini ayarlama işlevine sahiptir

(ithal edilenlerin değiştirilmesi için ekstra ödeme yapmanız gerekir)

enstrümanlar, isteğe bağlı)

FP93 cihazı                             EUROTHERM cihazı                       Dokunmatik ekran

enstrüman

(shimaden, Japonya)

oda malzemesi

1. Ocak malzemesi yüksek kalitede yapılmıştır

alümina polikristal fiber.

2. İç fırının yüzeyi ile kaplanmıştır.

artırabilen ithal 1800 derece yüksek sıcaklık alümina kaplama

Emisivite ve sıcaklık alanını daha dengeli hale getirir.

Vanalar ve flanşlar

kontrol hassasiyeti

ekran dijital ekran.

Evlat edinmek

VRD16 vakum pompası

VRD16

Teknik terim

Şartname

VRD-16

Pompalama hızım³/h（L/s）

motor gücü (KW)

0.75 KW/0.55 KW

Giriş/çıkış bağlantısıDN

KF25

akış kontrolörü kullanılır, lütfen arkaya bakın