CVD Sistemi için VRD16 Vakum Pompalı Vakum Sistemi

I. Genel Bakış

sistem

(tüp fırınındaki vakumu 0.6Pa'ya kadar pompalayabilir) bir emme flanşından oluşur

(kendi kendine yapılan) KF25 arayüzlü, yüksek vakumlu bölme yöntemi, dirençli vakum

gösterge, körük, braket (ev yapımı), vakum pompası Tee borusunu

flanş çıkışı, dirençli silikonu üç yollu borunun bir ucuna bağlayın,

diğer uca yüksek vakumlu kanat valfini bağlayın, kanatçığı bağlayın

Dia25 oluklu valf ve vakum pompası ve hızlı KF25 kullanın

bağlantı noktası için kelepçe. .

2. Basınç algılama sistemi

ZDR-I/ZDR-I-LED tipi tek direnç

vakum monometresi

Direnç vakum göstergesi

(Pirani vakum ölçer olarak da bilinir) özel olarak stabilize edilmiş bir ZJ-52T kullanır

direnç ölçer ve yeni bir sabit sıcaklık çalışma modu uygular.

sabit güç. Aynı zamanda, mikroişlemci kontrol etmek için kullanılır.

düzenlemenin doğrusal olmaması. Doğrusal işleme. özellikleri var

istikrarlı performans, geniş ölçüm aralığı, hızlı tepki ve küçük sapma. Ve

güçlü ve güvenilir mikroişlemci tabanlı röle kontrolü, seri iletişim

çıkış, vakum analog çıkışı ve diğer işlevler. Özellikle uygun

vakum uygulamalarının kaba ve düşük vakum ölçümü ve kontrolü.

Teknik parametreler:

*

Dağıtım yönetmeliği: ZJ-52T direnç göstergesi

*

Ölçüm aralığı: 10 5～10 -1 Pa

*

Optik izolasyon, dijital filtreleme, gelişmiş parazit önleme özelliği.

*