1500-1500C Çift Bölgeli Döner Tüp Fırınlı Lab CVD Sistemi

Sales 1500-1500C Çift Bölgeli Döner Tüp Fırınlı Lab CVD Sistemi

Satış Müdürü:Andrea

E-posta: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechat: 18250801164

  • :
  • :

Ürün ayrıntısı  

1500-1500C Çift Bölgeli Döner Tüp Fırınlı Lab CVD Sistemi

CVD sistemi gaz besleme sistemi + tüp fırın + vakum sisteminden oluşur ve maksimum sıcaklık 1200 derece, 1400 derece, 1600 derece ve 1700 dereceye ulaşabilir. Isıtma bölgesi tek sıcaklık bölgesi, çift sıcaklık bölgesi, üç sıcaklık bölgesi vb. olabilir. Nihai vakum 10-3Pa'ya ulaşabilir. Gaz besleme sistemi, akış regülasyonu için kütle akış ölçer veya şamandıralı akış ölçer olabilir. Karıştırma kanallarının sayısı 2 kanal, 3 kanal, 4 kanal ve 5 kanal olabilir.


Ayrıntılı teknik parametreler

modeli

1500-1500-I                                                 1500-1500-II

Güç

9KW                                                               9KW

Tüp

boyut

çap

60(DÇ) X1400 mm                                     Çap 80(DÇ) X1400 mm

Arz

Gerilim

380V                                                                    380V

Evre

çift faz                                                          çift faz

Tüp

Korindon tüp: yüksek saflıkta AIO

seramikler (dahil) %99,5

Isıtma

eleman

Öncelikle

sıcaklık bölgesi:silikon karbon çubuk                     İkinci sıcaklık bölgesi: silikon karbon çubuk

Fırın borusu dönüş hızı

Kademesiz değişken hızlı motor ile,

hız (1-25 RPM) arasında ayarlanabilir

Motor gücü

40W

Fırın bir Açıda eğilebilir

0-30 derece

sürücü türü

Dişli kayış ve dişli

Kontrol

mod

İHA programı sıcaklık kontrol cihazı

(standart)


1, 30 aşamalı program sıcaklık kontrolü

akıllı PID ayarı.

2. Aşırı sıcaklık koruması ile elektrik

Sıcaklık düştüğünde fırın ısıtma devresi otomatik olarak kesilir.

aşırı sıcaklık veya kırık, (elektrikli fırın sıcaklığı aştığında

1520 derece veya termokupl üflenir, ana devre üzerindeki AC rölesi

otomatik olarak kesilecek, ana devre bozuldu. Açık, AÇIK

paneldeki ışık kapalı, KAPALI ışığı yanıyor ve sınırlı koruma

elektrikli fırın).

3, 485 iletişim arayüzü ile (standart

yazılım satın alırken)

4, kapanma koruma fonksiyonu ile,

güç kapatıldıktan sonra güç açıldığında, program

başlangıç sıcaklığından başlamaz, ancak fırın sıcaklığından

elektrik kesintisi anından itibaren yükselir.

5, metre sıcaklık kendini ayarlama işlevine sahiptir

(değiştirme için ekstra ödeme yapmanız gerekir

ithal enstrümanlar, isteğe bağlı)

FP93 cihazı

EUROTHERM enstrümanı

Dokunmatik ekran

enstrüman

(shimaden, Japonya)



Fırın malzemesi

1. Yüksek kaliteli yüksek saflıkta alümina polikristal

vakum filtrasyonu ile oluşturulan elyaf kürleme fırını.

2. Kalıplama için Japon teknolojisini benimseyin.

Kontrol

kesinlik

+/- 1℃

Tetiklemek

Faz kaydırmalı

tetiklemek

Elektrik

cihaz

Zhejiang

çınlama

Silikon

kontrollü

106/16ESEMİKRON

bu

birinci ve ikinci sıcaklık bölgelerindeki en yüksek sıcaklık

1500℃

Oy

birinci ve ikinci sıcaklık bölgelerindeki sıcaklık

1400℃

Isıtma

oran

≤20℃/ Min (gerektiği gibi değiştirilebilir)

Önerilen

sıcaklık artış hızı

≤10℃/ Min

termokupl

S yazın ilk

sıcaklık bölgesi

S

ikinci sıcaklık bölgesini yazın

Uzunluk

birinci ve ikinci sıcaklık bölgelerinde ısıtma bölümünün

300+300mm                                           300+300mm

Sabit sıcaklık uzunluğu

450 mm                                                    450 mm

Gx-3 üç kanallı hava beslemesi (karışık

hava sistemi

1.1. Gaz silindirden çıkar,

bir basınç düşürme valfi aracılığıyla basıncı boşaltılır, PTFE tüpünden geçer

gaz besleme sisteminin girişine ve daha sonra kütle akışından geçer




gaz akışını kontrol etmek için sayaç ve ardından gaz karıştırma tankından geçer ve

daha sonra fırın girişine girer.

1.2.

2)


Gaz karıştırma tankına bir manometre takılıdır ve manometre

ekran diski ve proton akış ölçer denetleyicisi aynı

panel.

1.3.

Her gaz hattında güvenlik için yüksek basınçlı kapatma vanası bulunur.

1.4.

Gaz yolu, yüksek hassasiyetli bir gaz kütle akış ölçer kullanır ve gazın iç kısmı

gaz yolu tamamen iyi korozyona sahip paslanmaz çelik borudan yapılmıştır

direnç.

1.5.

Kutudaki tüm bağlantılar, paslanmaz çelik halkalarla birbirine bağlanmıştır.

iyi hava sızdırmazlığı ve yüksek basınç direnci.

2. Teknik parametreler:

Pnömatik kanal: 3

Gaz akış kontrolü:

Kütle akışı ölçer.

Kabin boyutları:

600X600X600mm

Kütle akışı ölçer

teknik parametreler:

Arayüz: Φ6

Ekran: LED

Çalışma ortamı sıcaklığı: 5~45°C

Akış kontrolörü:

Proton akış denetleyici parametreleri Lütfen tekrar kontrol edin

Paslanmaz çelik tüp:

Φ6 dışında X Φ4

Basınç vakumu

tablo: -0,1~0,15 MPa, 0,01

MPa/bölüm

Durdurma valfi: Φ6

Akış kontrolü: PLC

akıllı kontrol

功率

3. Kütle akış ölçer

电压

teknik parametreler:

转速

Ürün

Adı: Kütle Akış Kontrolörü

Ürün

Açıklama : Normal tip, analog devre

6

Ürün

ayrıntılar: Sıradan, analog devre, lastik conta, boru şeklinde şant, kolay değil

engellemek.

Ana

göstergeler: Aralık: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (aralığı istediğiniz gibi seçebilirsiniz)

Doğruluk: ±1% FS

Doğrusal: %0.5 F.S

Tekrarlanabilirlik: ±%0,2 F.S

Tepki süresi: 1S

Hava basıncı düşüşü: <0.01MPa

Maksimum basınç: 3MP

Çalışma ortamı sıcaklığı: 5~45°C

Giriş ve çıkış sinyalleri: 0~+5.00V

Güç: +15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Boyutlar: 158*30*110

Ağırlık: 0.9 Kg



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.