Satış Müdürü:Andrea
E-posta: Andrea@tmaxlaboratory.com
Wechat: 18250801164
1500-1500C Çift Bölgeli Döner Tüp Fırınlı Lab CVD Sistemi
CVD sistemi gaz besleme sistemi + tüp fırın + vakum sisteminden oluşur ve maksimum sıcaklık 1200 derece, 1400 derece, 1600 derece ve 1700 dereceye ulaşabilir. Isıtma bölgesi tek sıcaklık bölgesi, çift sıcaklık bölgesi, üç sıcaklık bölgesi vb. olabilir. Nihai vakum 10-3Pa'ya ulaşabilir. Gaz besleme sistemi, akış regülasyonu için kütle akış ölçer veya şamandıralı akış ölçer olabilir. Karıştırma kanallarının sayısı 2 kanal, 3 kanal, 4 kanal ve 5 kanal olabilir.
Ayrıntılı teknik parametreler
modeli | 1500-1500-I 1500-1500-II |
Güç | 9KW 9KW |
Tüp | boyut |
çap | 60(DÇ) X1400 mm Çap 80(DÇ) X1400 mm |
Arz | Gerilim |
380V 380V | Evre |
çift faz çift faz | Tüp |
Korindon tüp: yüksek saflıkta AIO | seramikler (dahil) %99,5 |
Isıtma | eleman |
Öncelikle | sıcaklık bölgesi:silikon karbon çubuk İkinci sıcaklık bölgesi: silikon karbon çubuk |
Fırın borusu dönüş hızı | Kademesiz değişken hızlı motor ile, |
hız (1-25 RPM) arasında ayarlanabilir | Motor gücü 40W Fırın bir Açıda eğilebilir 0-30 derece sürücü türü Dişli kayış ve dişli Kontrol mod İHA programı sıcaklık kontrol cihazı |
(standart) | 1, 30 aşamalı program sıcaklık kontrolü akıllı PID ayarı. |
2. Aşırı sıcaklık koruması ile elektrik | Sıcaklık düştüğünde fırın ısıtma devresi otomatik olarak kesilir. |
aşırı sıcaklık veya kırık, (elektrikli fırın sıcaklığı aştığında | 1520 derece veya termokupl üflenir, ana devre üzerindeki AC rölesi |
otomatik olarak kesilecek, ana devre bozuldu. Açık, AÇIK | paneldeki ışık kapalı, KAPALI ışığı yanıyor ve sınırlı koruma |
elektrikli fırın). | 3, 485 iletişim arayüzü ile (standart |
yazılım satın alırken) | 4, kapanma koruma fonksiyonu ile, |
güç kapatıldıktan sonra güç açıldığında, program | başlangıç sıcaklığından başlamaz, ancak fırın sıcaklığından |
elektrik kesintisi anından itibaren yükselir. | 5, metre sıcaklık kendini ayarlama işlevine sahiptir |
(değiştirme için ekstra ödeme yapmanız gerekir | ithal enstrümanlar, isteğe bağlı) |
FP93 cihazı |
|
EUROTHERM enstrümanı | Dokunmatik ekran |
enstrüman | (shimaden, Japonya) |
Fırın malzemesi
1. Yüksek kaliteli yüksek saflıkta alümina polikristal
vakum filtrasyonu ile oluşturulan elyaf kürleme fırını.
2. Kalıplama için Japon teknolojisini benimseyin.
Kontrol
kesinlik
+/- 1℃
Tetiklemek
Faz kaydırmalı
tetiklemek
Elektrik
cihaz
Zhejiang
çınlama
Silikon
kontrollü
106/16ESEMİKRON
bu
birinci ve ikinci sıcaklık bölgelerindeki en yüksek sıcaklık
1500℃
Oy
birinci ve ikinci sıcaklık bölgelerindeki sıcaklık
1400℃
Isıtma
oran
≤20℃/ Min (gerektiği gibi değiştirilebilir)
Önerilen
sıcaklık artış hızı
≤10℃/ Min
termokupl
S yazın ilk
sıcaklık bölgesi
S
ikinci sıcaklık bölgesini yazın
Uzunluk
birinci ve ikinci sıcaklık bölgelerinde ısıtma bölümünün
300+300mm 300+300mm
Sabit sıcaklık uzunluğu
450 mm 450 mm
Gx-3 üç kanallı hava beslemesi (karışık
hava sistemi
1.1. Gaz silindirden çıkar,
bir basınç düşürme valfi aracılığıyla basıncı boşaltılır, PTFE tüpünden geçer
gaz besleme sisteminin girişine ve daha sonra kütle akışından geçergaz akışını kontrol etmek için sayaç ve ardından gaz karıştırma tankından geçer ve
daha sonra fırın girişine girer. 1.2. 2) | Gaz karıştırma tankına bir manometre takılıdır ve manometre | ekran diski ve proton akış ölçer denetleyicisi aynı | |
panel. | 1.3. | ||
Her gaz hattında güvenlik için yüksek basınçlı kapatma vanası bulunur. | 1.4. | ||
Gaz yolu, yüksek hassasiyetli bir gaz kütle akış ölçer kullanır ve gazın iç kısmı | gaz yolu tamamen iyi korozyona sahip paslanmaz çelik borudan yapılmıştır | ||
direnç. 1.5. | Kutudaki tüm bağlantılar, paslanmaz çelik halkalarla birbirine bağlanmıştır. | iyi hava sızdırmazlığı ve yüksek basınç direnci. | |
2. Teknik parametreler: | Pnömatik kanal: 3 | ||
Gaz akış kontrolü: | Kütle akışı ölçer. | ||
Kabin boyutları: | 600X600X600mm | ||
Kütle akışı ölçer | teknik parametreler: | ||
Arayüz: Φ6 | Ekran: LED | ||
Çalışma ortamı sıcaklığı: 5~45°C | Akış kontrolörü: | ||
Proton akış denetleyici parametreleri Lütfen tekrar kontrol edin | Paslanmaz çelik tüp: | ||
Φ6 dışında X Φ4 | Basınç vakumu | ||
tablo: -0,1~0,15 MPa, 0,01 | MPa/bölüm | ||
Durdurma valfi: Φ6 Akış kontrolü: PLC akıllı kontrol | 功率 | 3. Kütle akış ölçer | |
电压 | teknik parametreler: | ||
转速 | Ürün | ||
Adı: Kütle Akış Kontrolörü | Ürün | ||
Açıklama : Normal tip, analog devre | 6 | ||
Ürün | ayrıntılar: Sıradan, analog devre, lastik conta, boru şeklinde şant, kolay değil | ||
engellemek. Ana | göstergeler: Aralık: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (aralığı istediğiniz gibi seçebilirsiniz) | |
• | Doğruluk: ±1% FS | ||
• | Doğrusal: %0.5 F.S | ||
• | Tekrarlanabilirlik: ±%0,2 F.S | ||
• | Tepki süresi: 1S | ||
• | Hava basıncı düşüşü: <0.01MPa | ||
• | Maksimum basınç: 3MP | • | |
Çalışma ortamı sıcaklığı: 5~45°C | • | ||
Giriş ve çıkış sinyalleri: 0~+5.00V | • | ||
Güç: +15V 50mA -15V 50mA | • |
Boyutlar: 158*30*110
•
Ağırlık: 0.9 Kg